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鉿基氧化物材料有望成為未來晶片的選擇?
雖然經過一系列基礎與應用研究,人們對鉿基氧化物材料性質及其關聯的物理效應和器件特性進行了較為廣泛的研究,已初步認識到,鉿基氧化物中的氧空位缺陷對高K介電、阻變、鐵電等特性有顯著的影響,而透過摻雜、介面工程等方法可調製氧空位的特性,由此實現對...
垂釣
2022-08-06
TAG:
器件
氧化物
阻變
鐵電
材料
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