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漲知識!晶片是怎麼做出來的,今天終於看懂了

  • 由 智邦IC線上教育 發表于 垂釣
  • 2022-11-04
簡介因為沙子中蘊含的矽是生產晶片“地基”矽晶圓所需要的原材料

一個晶片有多少元件

從專業角度來說,一塊晶片的製作工藝,製作流程極其複雜繁瑣。但就從IC完整的產業鏈來說,主要分為IC設計→IC製造→封裝→測試四個部分。

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晶片製作過程:

一、晶片設計

晶片屬於體積小,但高精密度極大的產品。想要製作晶片,設計是第一環節。設計需要藉助EDA工具和一些IP核,最終制成加工所需要的晶片設計藍圖。

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二、沙矽分離

所有的半導體工藝都是從一粒沙子開始的。因為沙子中蘊含的矽是生產晶片“地基”矽晶圓所需要的原材料。所以我們第一步,就是要將沙子中的矽分離出來。

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三、矽提純

在將矽分離出來後,其餘的材料廢棄不用。將矽經過多個步驟提純,已達到符合半導體制造的質量,這就是所謂的電子級矽。

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四、將矽鑄錠

提純之後,要將矽鑄成矽錠。一個被鑄成錠後的電子級矽的單晶體,重量大約為100千克,矽的純度達到了99。9999%。

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五、晶圓加工

矽錠鑄好後,要將整個矽錠切成一片一片的圓盤,也就是我們俗稱的晶圓,它是非常薄的。隨後,晶圓就要進行拋光,直至完美,表面如鏡面一樣光滑。

矽晶圓的直徑常見的有8英寸(200mm)和12英寸(300mm),直徑越大,最終單個晶片成本越低,但加工難度越高。

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六、光刻

首先在晶圓上敷塗上三層材料。第一層是氧化矽,第二層是氮化矽,最後一層是光刻膠。再將設計完成的包含數十億個電路元件的晶片藍圖製作成掩膜,掩膜可以理解為一種特殊的投影底片,包含了晶片設計藍圖,下一步就是將藍圖轉印到晶圓上。這一步對光刻機有著極高的要求。

紫外線會透過掩膜照射到矽晶圓上的光刻膠上,光刻過程中曝光在紫外線下的光刻膠被溶解掉,清除後留下的圖案和掩膜上的一致。用化學物質溶解掉暴露出來的晶圓部分,剩下的光刻膠保護著不應該蝕刻的部分。蝕刻完成後,清除全部光刻膠,露出一個個凹槽。

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七、蝕刻與離子注入

首先要腐蝕掉暴露在光刻膠外的氧化矽和氮化矽,並沉澱一層二氧化矽,使電晶體之間絕緣,然後利用蝕刻技術使最底層的矽暴露出來。然後把硼或磷注入到矽結構中,接著填充銅,以便和其他電晶體互連,然後可以在上面再塗一層膠,再做一層結構。一般一個晶片包含幾十層結構,就像密集交織的高速公路。

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經過上述流程,我們就得到了佈滿晶片的矽晶圓。之後用精細的切割器將晶片從晶圓上切下來,焊接到基片上,裝殼密封。之後經過最後的測試環節,一塊塊晶片就做好了。

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