上海微電子：國產光刻機的不幸，又是不幸中的萬幸

一個大得不能再大的烏龍，吸引了很多人的關注：“富士康選用上海微電子的光刻機，一次引進多達46臺，而且是28nm的光刻機”。

之所以能夠吸引那麼多人的關注，主要還是因為現在國產光刻機已經落後於世界水平，我們太想趕上世界的發展了，而發展國產光刻機需要代工廠商的大力支援，誰能想到，富士康能夠在這個時候，支援了一把呢？

不過很遺憾，富士康所選的光刻機並不是大家所常說的型別，而是應用於封測階段的IC後道光刻機。

其實，上海微電子在光刻機上的落後也只是說在IC前道工藝上，而在IC後道工序中所使用的封裝光刻機方面，上海微電子做得還很不錯，不但在國內封裝光刻機市場上，擁有80%的市場佔有率，而且還大量出口海外市場，全球佔有率也很不錯，達到了40%。

從這些資料上看的話，我們對富士康大量採用上海微電子的光刻機也就真的沒有必要大驚小怪了，這裡倒不是說這不是好事，相反，這是好事，而且也為這樣的合作感到高興，不過這裡面的關鍵是上海微電子在封裝光刻機方面的技術積累，值得我們點贊，有了技術這個前提，贏得了市場也就再正常不過了。

只是說起光刻機，一切都要落到IC前道工序中的光刻機上，這正是我們的短板所在。

從去年，甚至是從前年開始，就已經有說上海微電子已經獲得了28nm前道光刻機的突破，有的說在去年底會有成功出貨，後來又說會在今年年底出貨，而如今2021年所剩餘的時間只有短短的8天

了

，恐怕這幾天會發生奇蹟的希望也太渺小了。

倒是可以肯定的是時間肯定不會太久了，從2002年至今，這個一直讓國人魂牽夢繞的關鍵裝置，在經過了無數科研人員20年的科研攻關後，勝利的曙光是越來越亮了。

上海微電子，成立於2002年，也正是在這一年，光刻機被列入了863重大科技攻關計劃，其實，上海微電子的誕生就是為了承擔這一攻關計劃的，而在六年後的2008年，“02”科技重大專項再次為該計劃補充動力，艱苦奮鬥、百折不撓的上海微電子人，一路將我們國家的晶片光刻技術帶到了90nm，現在到了28nm，甚至是14nm，不能不說是厥功至偉。

有人將國產光刻機的發展稱為一部血淚史，早在上個世紀60年代的時候，我們就有了自己的光刻機，而在70年代的時候我們就已經進行了更多前沿技術的探索，並且那個時候還沒有ASML，到了1985年的時候，國產“掃描式投影光刻機”已經到達世界水平，而這一年，ASML才一歲。

但是遺憾的事情接踵而至，隨著外部環境的逐漸好轉，外資開始進入我們的市場，“造不如買”思想盛行成風，“買辦”開始吃香，“貿工技”風潮一時盛行，這就導致了需要大量投入的光刻機研製被邊緣化了。

說到這裡，也必須說一下我們的缺點，我們喜歡“抓重點”，或許在很多方面，“抓重點”是個優勢，但是在科研領域，尤其是基礎科研領域，“抓重點”就會導致邊緣領域被冷落，不少科研人員冷板凳坐穿，多快好省成為了主流，光刻機的落後已經難以避免。

當我們再次想到並重視國產光刻機的時候，已經是將近20年之後的2002年了，只是這一年，光刻機的天下已經大變模樣，這個我們後期再細聊吧。

有人說國產晶片因為光刻機被卡脖子是我們的不幸，不幸的是我們國產光刻機技術發展到今天，有著太多的曲折與無奈，從當初的世界領先，到現在被人卡脖子。而現在讓人慶幸的是幸虧我們還有上海微電子這一棵獨苗，儘管經歷風雨，但上海微電子還是堅持走了過來。

對於上海微電子的辛酸，這裡面也只是一筆帶過，今後有時間了會給大家好好聊一聊，希望這樣的“悲劇”不會再發生，也希望國產光刻機早日雄起！