用 ViscoQC 300L 測試光刻膠動力黏度

背景介紹

黏度是衡量光刻膠流動性的關鍵引數。光刻膠的黏度受原料和溶劑固體物質的比重影響。隨著溶劑比例得減少而增加。而高的黏滯性會產生厚的光刻膠，小的黏滯效能生產出厚度越均勻的光刻膠。除此之外，溫度也是影響光刻膠黏度的主要因素。因此在控溫的條件下準確測量光刻膠的黏度至關重要。安東帕旋轉黏度儀 ViscoQC 300L+帕爾帖溫控裝置 PTD 80 是光刻膠黏度檢測的最佳選擇。

實驗

ViscoQC 300 既可以進行單點粘度測定，也可以進行對於不同速度下的多點分析，以研究樣品的流動行為。配合轉子 SC4-34 可以測量粘度範圍從 24mPa·s 到 600000mPa·s 的樣品，所以對於測定未知光刻膠粘度測量，使用 ViscoQC 300L 配合轉子 SC4-34 是最實用的選擇。

安東帕特有的帕爾帖溫控裝置 PTD 80 能夠快速調節溫度，溫控範圍 15℃至 80℃，溫控精度± 0。1℃，內建的 T-ReadyTM 技術能確保樣品達到溫度平衡。PTD 80 是完美代替液體浴的溫控解決方案，為客戶節省空間，能耗和時間。本報告主要會展示光刻膠樣品在 25℃下的黏度測試實驗。

測試步驟： 將 SC4-34 轉子緩緩放入 CC18 轉子杯中 用注射器吸取 9。4ml 樣品緩慢滴入 SC4-34 測量系統中，並消除氣泡 將盛有樣品的 SC4-34 轉子系統放入 DIN 介面卡中並透過磁性耦合器將轉子連線 ViscoQC 300L，確保 ViscoQC 300 識別 SC4-34 轉子成功連線 設定測量模式為 Manual Mode（手動模式） 點選開始測試，根據扭矩變化調節合適的轉速

結果和討論

當 ViscoQC 的扭矩 10%~90%的範圍之內時視為結果有效。在手動模式下透過調節轉速，樣品在 2rpm 和 2。5rpm 這兩個轉速下扭矩在 10%~90%之內。以下為光刻膠樣品透過 ViscoQC 300L 配合轉子 SC4-34 和 PTD 80 在 25℃下以 2rpm 和 2。5rpm 轉速測試的結果。ViscoQC 300 的 Vcurve 軟體包啟用後，能夠在實驗中實時顯示黏度變化曲線，並在結果報告中展現完整曲線和表格資料，如圖 3-1a，3-1b，表 3-1。

如圖表顯示，在測試剛開始時樣品在突然被剪下的條件下呈較小的黏度，隨著時間的推移，樣品內部結構逐漸恢復，2min 後樣品黏度逐漸恢復到穩定水平，實驗在執行 10 分鐘後樣品黏度確保完全達到穩定。樣品在 2。0rpm 和 2。5rpm 的轉速下測量的動力黏度結果相差在 0。048%。說明此光刻膠樣品在平衡後黏度整體穩定，最終結果受剪下變稀的影響程度的不大。

總結

樣品的黏度為光刻膠的稠度提供了寶貴的質量資訊。安東帕旋轉粘度儀 ViscoQC 300L 配合 SC4- 34 轉子既可以幫助光刻膠質量控制或研發人員快速測量樣品在不同轉速下的粘度，同時也能衡量樣品在承受不同程度剪下條件時的粘度變化情況。帕爾帖溫控裝置 PTD 80 為實驗提供了穩定的溫度控制，整個測試操作簡單，儀器介面易懂直觀，是光刻膠黏度測量的最佳選擇。